碳化硅辊棒与温度的关系

点击次数:   更新时间:16/10/21 10:25:10     来源:www.wfxinchuang.com关闭分    享:
    今天为大家带来的是关于碳化硅辊棒与温度的关系的内容,希望对大家是有帮助的。
    特别是在炉膛温度超过1600℃以后,氧化速度加快,碳化硅辊棒的使用寿命变短,所以请尽量不要让硅碳棒表面温度过高,即有必要缩小炉膛温度与硅碳棒温度之差。表面负荷密度指棒的发热部单位表面积所允许承载的额定功率。表面负荷密度=额定功率(W)/ 发热部表面积(cm2)。负荷密度大则发热体表面温度与炉膛温度之差也大。负荷密度大则棒体表面温度高,电阻增长快, SIC棒的寿命短。因此,碳化硅板表面温度负荷密度、炉内气氛、温度与SIC棒老化速度成正比,与SIC棒的寿命成反比。


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